欧洲杯体育树立出一种基于聚碲氧烷的新式光刻胶-世博体育APP最新版2024安卓最新版_手机app官方版免费安装下载

快科技 7 月 24 日音问，据清华大学官网先容，日前，清华大学化学系许华平莳植团队在极紫外（EUV）光刻材料上得回遑急证明，树立出一种基于聚碲氧烷的新式光刻胶，为先进半导体制造中的要道材料提供了新的设政策略。

跟着集成电路工艺向 7nm 及以下节点鼓舞，13.5nm 波长的 EUV 光刻成为中枢手艺。

但 EUV 光源反射损耗大、亮度低，对光刻胶在继承获果、响应机制和残障截至等方面提议更高要求。

现存 EUV 光刻胶多依赖化学放大或金属敏化团簇提高灵巧度，但持续结构复杂、组分不均、易扩散，容易引入残障。

学界觉得，理思的 EUV 光刻胶应具备四项特质：高 EUV 继承技艺、高能量专揽成果、分子均一性和尽可能小的构筑单位，以提高灵巧度、镌汰残障和线边际豪爽度。

聚碲氧烷：理思的 EUV 光刻胶材料

许华平团队基于此前发明的聚碲氧烷，树立出一种全新 EUV 光刻胶，直率上述条款。

规划中，团队将高 EUV 继承元素碲（Te）通过 Te – O 键引入高分子骨架，专揽碲优异的 EUV 继承技艺和较低的 Te – O 键解离能，牺牲高继承、高灵巧度的正性显影。

这一光刻胶由单组分小分子团聚而成，在简约打算下整合理思特质，为下一代 EUV 光刻胶的树立提供了可行旅途。

清华大学暗示，该规划提议的交融高继承元素 Te、主链断裂机制与材料均一性的光刻胶打算旅途，有望推动下一代 EUV 光刻材料的发展，助力先进半导体工艺手艺转换。

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